Bezprzekładniowe stoły liniowe z lewitacją powietrzną Air-Levitation: Bezdotykowa dokładność pozycjonowania poniżej 10 nanometrów

Bezdotykowe prowadzenie wózka na sprężonej poduszce azotowej

W litografii półprzewodnikowej oraz inspekcji struktur mikronowych tradycyjne wózki toczne na szynach profilowanych napotykają granicę fizyczną. Nierównomierność oporów toczenia kulek (tzw. Cogging Force) oraz mikroskopijne drgania wywołane wpada niem kulek w strefę nawrotną uniemożliwiają uzyskanie stabilnego posuwu w skali nanometrycznej.

Dla osi o skrajnych wymaganiach czystościowych stosuje się **Bezprzekładniowe Stoły Liniowe z Lewitacją Powietrzną (Air-Levitation Linear Stages)**.

Wózek nie ma żadnego fizycznego kontaktu ze stoiskiem. Pomiędzy korpus a porowate płytki grafitowe doprowadza się sprężony azot pod ciśnieniem 6 barów, tworząc poduszkę gazową o grubości 5 mikrometrów. Napęd realizowany jest przez płaski silnik liniowy bezrdzeniowy, eliminujący siły przyciągania magnetycznego między stojanem a wirnikiem.

• Rozdzielczość pozycjonowania poniżej 10 nanometrów: Brak tarcia statycznego pozwala na mikro-skoki bez efektu Stick-Slip.
• Zero cząstek stałych (Klasa czystości ISO 1): Brak zużycia ciernego umożliwia bezawaryjną pracę w komorach próżniowych.
• Płaskość trajektorii ruchu w granicach 100 nm: Uśrednienie błędów geometrii podłoża przez sprężystość poduszki gazowej.