Automatyka
MIKRO-CZUJNIKI O DOKŁADNOŚCI LABORATORYJNEJ! Przepływomierze MEMS Coriolis w Pomiarze Gazu Wodorowego
METROLOGIA PRZEPŁYWU / MEMS
Miarownictwo Precyzyjne
Krzemowa mikromechanika w pomiarze masy gazu: Miniprzepływomierze MEMS z rezonatorem kamertonowym
Pomiary natężenia przepływu małych gęstości gazów (wodór, hel) za pomocą przetworników termicznych obarczone są błędem wynikającym ze zmienności przewodności cieplnej medium. Przepływomierze masowe MEMS wykorzystują mikroskopijne, drgające rurki krzemowe. Efekt Siły Coriolisa wywołuje skręcenie rurki proporcjonalne bezpośrednio do masy przepływającego gazu.
1. Drgania rurki 2 kHz
➔
2. Przepływ Masy
➔
3. Przesunięcie Fazy (Coriolis)
Źródło: Sensors and Actuators A: Physical
Karta badań MEMS →
Author: INTEGRATORPRZEMYSŁOWY.PL
